吉致电子氮化铝陶瓷抛光液可达镜面效果,特点如下:
1、纳米级抛光液,抛光后具有较优的粗糙度
2、陶瓷基片抛光液绿色无污染、不含卤素及重金属元素
3、抛光液可循环使用,根据工艺要求可添加去离子水稀释
氮化铝陶瓷基板通过CMP化学机械平面抛光工艺,结合吉致电子平面研磨机配合研磨液、抛光液、研磨盘就可以达到理想镜面效果。
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